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四点探针薄膜测量方案简述：
● 人机界面式互动程序；
● 提供较大电阻值薄膜 (数百Mohm以上) 或较小电阻值薄膜 (数百Mohm 以下) 测量范围；
● 可控制 Keithley 2636 系列、Keithley 2400 系列或其他各品牌电性测量范围的电流源表进行整合；
● 可供输入电流或电压，作定电流或扫描电压测量；
● 可供输入探针的尺寸信息与薄膜厚度；
● 可量测出电阻、片电阻、电阻率与导电率等各种客制化特性；
● 可进行量测速度、杂讯处理、偏压...等各量测相关设定；
● 量测资料结果输出，可显示在软件界面中或存档，以便在Excel进行进一步资料处理；
● 量测图形结果可显示图形输出；
四探针薄膜测量电阻率测量系统
概述：
● 四点探针量测系统配备四点探针座、精密测量仪表、测试软件；
● 量测显示样品参数：电阻、片电阻、体电阻率、导电率；
● 适用于ITO膜/玻璃、ITO膜/软性基板、ITO膜/矽晶、矽晶片、导电高分子薄膜、金属膜/块体材料；
可选配功能：
● 多点电阻一次量测；
● 矽晶片P型或N型判断，萃取载流子浓度与载流子迁移率（无需经由霍尔磁场量测）；
● 支持电压电流电阻 IV量测；
● 加热量测电阻变化；
特点：
● 使用者可以输入薄膜厚度、样品尺寸，即可量测量样品以下参数：
电阻值 Resistance
片电阻率 Sheet resistivity
体积电阻率 Volume resistivity
电导率 Conductivity
● 选配配亦可量测待测物/矽晶片(Silicon) 以下参数：
PN Type 晶片判斷 Determination of PN Type of Si
载流子浓度 Doping concentration
载流子迁移率 Carrier concentration
应用：
以下各种成型薄膜的片电阻（率）与导电率量测；
● 各类成形的金属薄膜 Metal films
● 触控面板ITO/玻璃(PET)上的导电膜 Conductive film on touch panel ITO/glass (PET)
● 太阳能薄膜电池上的矽导电膜 Conductive thin film on solar cells
● 矽晶圆上的矽 Silicon on silicon wafer
● 导电高分子薄膜 Conductive polymer film
● 其他薄膜 Other films
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