四点探针薄膜测量方案简述：
● 人机界面式互动程序；
● 提供较大电阻值薄膜 (数百Mohm以上) 或较小电阻值薄膜 (数百Mohm 以下) 测量范围；
● 可控制 Keithley 2636 系列、Keithley 2400 系列或其他各品牌电性测量范围的电流源表进行整合；
● 可供输入电流或电压，作定电流或扫描电压测量；
● 可供输入探针的尺寸信息与薄膜厚度；
● 可量测出电阻、片电阻、电阻率与导电率等各种客制化特性；
● 可进行量测速度、杂讯处理、偏压...等各量测相关设定；
● 量测资料结果输出，可显示在软件界面中或存档，以便在Excel进行进一步资料处理；
● 量测图形结果可显示图形输出；
四探针间距可调电阻率测量系统
概述：
● 本系统为桌上型四点探针量测平台，针对薄膜、晶圆、导电涂层等样品的电性进行高精度量测，具备可调式探针座设计，使用者可依据样品表面特性与量测需求，微调四探针间距，标准间距范围：1.6mm ~ 3mm，也● 可依照客制需求进行调整（特殊间距可非标设计），支持多种尺寸晶圆与线上数据处理功能；
特点：
● 适用样品尺寸：可量测最大直径 4寸晶圆，另可提供 6寸与8寸主体配置；
● 探针间距可调：支持间距1.6mm至3mm微调，满足不同材料与导电薄膜的量测需求；
● 探针材质：采用铍铜（BeCu）镀金处理，良好的导电性能，接触稳定；
● 探针压力：标准压力为100g，可稳定贴合样品表面，避免过度压损；
● 探针直径：探针针尖直径约100μm，适用大多数薄膜样品；
● 平台材质：搭配 4寸/6寸/8寸 铁氟龙绝缘测试底座，避免漏电干扰，提高量测准确率；
● 全同轴设计：完整同轴结构，有效隔离系统的杂讯，提高信号稳定性；
● 探针升降控制：手动杆操作设计，控制探针升降平稳精密；
● 数据处理：搭配软件可自动根据样品形状与厚度，计算下列参数：
电阻值（Resistance [Ω]）
片电阻（Sheet Resistance [Ω/□]）
体积电阻率（Volume Resistivity [Ω·cm]）
导电率（Conductivity [S/cm]）
● 数据格式：即时显示量测结果，可自动储存为 .csv格式，方便后续进行行数据；
● 量测条件可选：可依据样品性质设定量测电流测试参数，提高测试数据重复性与准确率；
应用：
● 半导体晶圆材料研发；
● 薄膜电阻或导电涂层量测；
● 太阳能电池或透明导电薄膜量测；
● 电子陶瓷与纳米材料的导电性分析；
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