产品描述

Product Description

标准卡盘系统

Standard Chuck System

低漏电卡盘系统

Low Noise Chuck System

高压/大电流卡盘系统

HV/HC Chuck System

可选卡盘尺寸

Optional Chuck Size

8寸/12寸

8”/12”

温度范围

Temperature Range

-65°C~+300°C

温控方式

Temperature Control Method

电加热/洁净压缩空气（CDA）冷却

Electric Heating and CDA Cooling

温控系统分辨率

Temperature Control Resolution

±0.01°C

温度稳定性

Temperature Stability

±0.1°C

温度均匀性

Temperature Uniformity

±0.5°C/±0.5%

卡盘全温平行度

Chuck Planarity at all Temperatures

<16μm

卡盘漏电

Chuck Leakage

<100pA@25°C @10V

<200pA@200°C @10V

<1pA@25°C @10V

<2pA@200°C @10V

<1pA@25°C @10V *

<2pA@200°C @10V *

<5pA@25°C @3000V *

<10pA@200°C @3000V *

最高测试电压

Max. Test Voltage

500V

500V

10KV

卡盘表面镀层

Chuck Plating

镀镍/镀金

Nickel/Glod

镀金

Glod

卡盘表面平面度

Chuck Surface Flatness

<3μm

真空吸附方式

Vacuum Type

沟槽/密孔

Groove/Many Holes

密孔

Many Holes

密孔

Many Holes

真空排布方式

Vacuum Layout

8寸卡盘：6"与8"

12寸卡盘：8"与12"

8"Chuck：6" and 8"

12"Chuck：8" and 12"

8寸卡盘：4" 6" 8"与中心（4mmX4mm）

12寸卡盘：4" 6" 8" 12"与中心（4mmX4mm）

8"Chuck：4" 6" 8" and Center（4mmX4mm）

12"Chuck：4" 6" 8" 12" and Center（4mmX4mm）

连接方式

Connection

同轴

Coaxial

三轴

Triaxial

同轴/三轴

Coaxial/Triaxial

升降温时间**

Heating & Cooling Rate

8寸卡盘系统：                   12寸卡盘系统：

8" Chuck System                   12" Chuck System

+25°C ~ +200°C  < 25min          +25°C ~ +200°C  < 25min

+200°C ~ +25°C  < 15min（40min） +200°C ~ +25°C  < 20min（60min）

+25°C ~ -60°C  < 30min            +25°C ~ -55°C  < 45min

-60°C ~ +25°C  < 12min            -55°C ~ +25°C  < 12min

运行所需CDA压力

Requested CDA Pressure

≥6 bar

运行所需CDA流量

Requested CDA Flow Rate

≥500L/min

运行所需功率

Power Consumption

1000VA（常高温系统，Ambient System）

3500VA（高低温系统，Cold System）