测试样品尺寸：

4”、6”、8”、12”

Chuck X-Y Stage

样品卡盘XY轴

   * Travel（行程） ： 100mm x 100mm（4寸）

                                   150mm x 150mm（6寸）

                                   200mm x 200mm（8寸）

                                   300mm x 300mm（12寸）

   * Speed（速度）：50mm/sec (max)

   * Resolution（分辨率）：0.5 μm  

   * Accuracy（精度）：±2 μm

   * Repeatability（重复精度）：< 3 μm

   * Movement（运动）：Motorized（机械）

Chuck Z Stage

样品卡盘Z轴

   * Travel（行程）：10mm

   * Speed（速度）：20mm/sec (max)

   * Resolution（分辨率）：1.25 μm  

   * Accuracy（精度）：±2 μm

   * Repeatability（重复精度）：< 3 μm

   * Movement（运动）：Motorized（机械）

Chuck Theta

样品卡盘θ轴

   * Travel（行程）：±10 deg

   * Resolution（分辨率）：0.0018 deg  

   * Movement（运动）：Motorized（机械）

Platen

台板

   * Travel（行程）：10mm

   * Resolution（分辨率）：5um

   * Movement（运动）：Manual（手动）

Microscope Stage

显微镜平台

   * X-Y travel（行程）：50mm x 50mm

   * Z (行程) ：50mm

   * Movement（运动）：Manual（手动）

                                        (Motorize option 机械式可选)

Control Software

控制软件

   * Remote control chuck X,Y,Z, Theta（XYZ控制）

   * Wafer Mapping（晶圆MAP图）

   * Auto alignment 自动校正（pattern recognition模式识别）

   * Library to pilot measurement instrument

Manual Adjustable

手动可调

   *Chuck stage travel X,Y（样品载台行程）： 100mm

   *Manual chuck theta adjustment(手动卡盘θ调整)

   *Chuck up-down（卡盘上下可调）：5mm

   *Microscope stage travel X,Y（显微镜台行程）： 25mm

option

可加选项：

   *Gold Plating Chuck 100mm（镀金）

   *Gold Plating Chuck 150mm（镀金）

   *Gold Plating Chuck 200mm（镀金）

   *Gold Plating Chuck 300mm（镀金）

   *Triaxial chuck (三轴环境卡盘)