配置参数：

定制型密闭真空式四探针腔室（腔室引线接口/观察窗/特殊规格结构均可以非标定制设计）：

腔体尺寸：225mm*135mm*45mm

外形尺寸：300mm*180mm*45mm

载物台直径：50mm

探针方式：四探针夹具工装

气体输入输出接口

观察眩窗（光学玻璃）

高真空转接插头座（三同轴）：高真空专用

三同轴插头公(内部连接线组件)

三同轴插头公转BNC母（外部连接线）

温控系统（含相关高真空线缆转接插头座）

温度控制盒：

输入电压：AC180-250V, 50/60Hz

负载功率：120W

变温精度：+/-1℃

显示精度： 0.1℃

温度范围：RT-300℃

控制方式：PID 控制forPT100；

热传感器：OMEGA微小型

实时显示与面板控制

真空气路系统（可选项）：

真空度显示表/真空传感器/进气和出气减压阀/进气和出气节流阀/放气阀

配套真空泵真空泵配置（可选项）：

抽气速率(N2)：50Hz 24（6.6）/60Hz 28.8（7.9）

极限分压强-关闭气镇(Pa)：4*10-2

极限总压强-关闭气镇(Pa)：4*10-1

极限总压强-开启气镇(Pa)：8*10-1

电源：单相/三相

电机功率(kW)：1.1/0.75

进排气口连接口DN(mm)：KF25/40

用油量（L）：1.3~2.0

电机转速（rpm）：50Hz/1440； 50Hz/1720