配置参数:
定制型密闭真空式腔室(腔室引线接口/观察窗/特殊规格结构均可以非标定制设计):
腔体内口尺寸:210mmx190mmx100mm
外形尺寸:240mmx220mmx120mm
腔室内底板上有12个间距约在40mm的M3 的螺纹盲孔。
含气体输入输出接口
含观察眩窗(光学玻璃)
腔内压强小于10Pa
观察视窗玻璃选定康宁7980(观察窗口直径:60mm)
高真空线缆连接件(插头插座),腔体左右两端安装(共4个)
低电阻超软双绞线缆(包含插头插座线缆,插座长度0.2米,插头线缆长度1米)
真空气路系统(可选项):真空度显示、真空传感器、进气节流阀
真空泵配置(可选项):
抽气速率(N2):50Hz 24(6.6)/60Hz 28.8(7.9)
极限分压强-关闭气镇(Pa):4*10-2
极限总压强-关闭气镇(Pa):4*10-1
极限总压强-开启气镇(Pa):8*10-1
电源:单相/三相
电机功率(kW):1.1/0.75
进排气口连接口DN(mm):KF25/40
用油量(L):1.3~2.0
电机转速(rpm):50Hz/1440; 50Hz/1720