产品特点：

超小产品体积，可兼容显微及拉曼系统使用。

手动快速定位探针至待测点，操作便捷。

同轴测试配置，探针漏电小于10pA。

高精度直流温控系统，PID控制，最大程度降低系统电学测试噪声。

温控系统可升级低温测试功能（TEC制冷和液氮制冷）。

技术指标：

一、电学配置及系统参数

1. 1英寸载物台（直径：25mm），带有温控功能

2. 探针漏电精度：<10pA

        3. 测试接口：BNC同轴接头，4个

4. 探针夹具及测试线缆组件：4套

5. 探针：4根

6. 测试电流范围：1nA～1A

7. 最大测试电压：500V

二、样品台及探针操作装置

        1.载物台

1.1 样品台尺寸25mm，OFC材质，表面镀金（Type II）。

        2. 探针操作装置

1. 数量：4套

2. 手动位移探针，无需借助显微镜，适用于待测点尺寸在1mm或以上的样品扎针测试

注：显微镜辅助扎探针，最小可适用于0.5*0.5mm待测点

3. 操作方式：内置操作（点针组件位于真空腔体内部）

三、真空系统

1. 真空腔体：316L不锈钢

2. 真空度：10^-3mbar，低温测试无凝露结霜

3. 观察窗：石英玻璃

观察窗顶面至样品台距离小于10mm

4. 接口：

4.1 真空接口：1／4 VCR 接头

4.2 气体进入接口：1／4VCR 接头

备注：用户可通过气体进入接口对真空腔内充入微量气体

四、温控系统

       1、机械参数

1.1 尺寸：1英寸

1.2 材质：OFC

1.3 表面镀层： TYPE II镀金

1.4 平整度：≤10μm@25℃

 ≤30μm@200℃

 ≤40μm@300℃

       2、温控参数：

2.1 温度范围：室温~200℃（可选其它）

2.2 温控分辨率：0.1℃

2.3 温度精度：±0.15+0.002*target temperature

2.4 温度均匀性：±0.5℃@1 in. chuck

2.5 升温时间：around 20min（室温至200℃）

2.6 电源：220V 50Hz交流电

       3、电学性能：

       3.1 探针漏电：≤10pA

       3.2 载物台漏电：≤10nA

五、光学系统

N.A. 用户自备

该系统可兼容用户拉曼系统，配置安装支架，可装于用户拉曼系统上使用

六、探针

针尖直径：20微米（可选其它）

探针材质：钨，表面镀金处理

数    量：10支（2盒）

七、系统尺寸：

外形尺寸：200mm*120mm*30mm

腔体尺寸：150mm*90mm*30mm