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简述：
提供多种波长光源测试极微小晶片(60um)感光反应
提供多种测试波段选择，亦可提供更换不同波段组件
同步以摄影机监控量测过程
可手动/自动对焦元件
样品可控温常温~90度（其它温度范围可选）
雷射最后一个透镜到样品的距离是12.5cm，即换算成光斑为25um
波段选择可同时存在八种，预设波段为1550nm、1310nm、940nm、850nm、650nm五种
光源功率全波段10~20mW，间隔0.1mW
使用探针压pin量测，类似LED
Keithley 2400量测电流
250um size，收光区60um
样品厚度100~350um ，wafer 2~4”，也有单一chip
软件功能-可输出资料量测結果：
软件功能-多点量测：
可程式编辑功率量测范围
自动量测以及分析slope、I1、I2与P2
各点IC回分別存档
流程图：
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