载片盘尺寸：

12英寸

载片盘材料：

不锈钢

其它要求：

载片盘上根据机械手顶针尺寸预留5个过孔

载片盘为真空吸附，留有真空接头

载片盘与外围部件有隔热设计

加热组件与载片盘留有机械手顶针过孔

加热卡盘与机台底座及机械手衔接

所有引线及连线使用超柔软线缆或进口igus线缆

温度控制箱到加热盘的留线，留气管距离大概需要4到5米，并且方便拆卸

温控系统：

温度控制盒：

输入电压：AC180-250V, 50/60Hz

负载功率：350W

变温精度：+/-1%℃

显示精度： 0.1℃

温度范围：RT-420℃

控制方式：PID 控制forPT100；

热传感器：OMEGA

实时显示与面板控制

其它：

非标加热卡盘材质及规格以实际设计加工图纸为准