规格：

可选样品卡盘尺寸：4寸、6寸、8寸、12寸
外形：圆形或方型
可选温度范围：室温~100°C/200°C/300°C/400°C/500°C/600°C
温控精度：+/-0.5~1°C
温控分辨率：+/-0.1°C
变温精度：+/-0.1°C
卡盘平整度：+/-5um
样品固定方式：真空吸附
材质：不锈钢/铜或其它涂镀材料，如镀金、镀镍等
电源：AC/DC
温控仪：日本富士
测温探头：欧姆龙