您好,欢迎来到镨烽(苏州)仪器-普西工业官方网站!可提供OEM代工服务,欢迎各地代理经销商垂询
热线电话:010-56212963
010-56203624
    产品与方案 PRODUCT DISPLAY
    半导体材料/器件测试解决方案
    半导体材料/器件测试解决方案
    微型真空光学及探针测试冷热台
    光学及探针测试冷热台(可客制)
    企业新闻 CORPORATE NEWS
    如您有任何需要我们提供的信息 请留言给我们

     

    首页产品与方案》详情
    VO&S VB-150A手套箱(含純化/再生系統) 

    VO&S VB-150A手套箱(含純化/再生系統)

    Glove Box System With Integrated Gas Purification System

     

    手套箱本体:

    (1)手套箱外尺寸:1500L X 840D X 920Hmm,底部骨架附调节移动轮与高度调整脚

    (2)手套箱本体材质:不锈钢SUS304,厚度:3mm,手套箱内部拋光沙面,外部粉体烤漆处理

    (3)手套箱工作气体:氮气,氩气,氦气惰性气体环境

    (4)置物层板:不锈钢SUS304,厚度:1.5mm,二个(900L X 200Dmm)

    (5)照明:外挂式日光灯30W*2一盏

    (6)手套箱视窗:透明Lexan视窗,厚度:10mm

    (7)手套固定环:白色Polyformaldehyde材质,Size(尺寸):220mm(直径),O型圈密封

    (8)手套:Butyl材质,厚度0.4mm,手套数量:2雙

    (9)手套箱左侧板为透明LEXAN视窗含手套环与手套一支,便于探针校正等观测使用

    (10)手套箱泄漏率:<0.05Vol%/h

     

    電控系統

    (1)电源:220V/60Hz,10A ,手套箱内部附AC110V电源插座一组

    (2)系统控制:PLC可程式控制器搭配5.7寸中英文触控人机界面操控显示水氧浓度及手套箱压力值

    (3)手套箱压力可自由设定,自动定压(±15mbar)控制与脚踩加压/减压开关控制手套箱压力

     

    气体纯化/再生系统与气体线

    (1)纯化系统:气体密闭回路循环除水与除氧系统

    (2)手套箱气体经纯化系统处理后浓度:H2O<1ppm(v) , O2<1ppm(v)

    (3)纯化器(含触媒):材质为不锈钢SUS 304,含加热器与保温,可重复再生使用

    (4)再生控制:由PLC人机界面自动程式控制(自动/手动等再生操控模式),纯化器再生之日期具记忆功能,可显示在人机界面上

    (5)再生气体:氮氢混合气N2/H2 mixture(H2:3-5%)or 氮氩混合气Ar/H2 mixture(H2:3-5%)

    (6)冷却系统:冷却水流速2-3 l/min(冷水机另行购置,属加选组件)

    (7)纯化系统循环风车:气体循环流速70 m3/h  at  P=60 mbar

    (8)纯化系统阀件:采用KF-40真空用气动阀控制

    (9)控制阀:电磁阀3/8”,PLC控制

    (10)纯化系统管线:不锈钢SUS304配管,Type KF-40真空接头系统

    (11)供气配管:不锈钢3/8”配管

    (12)纯化循环系统泄漏率:<10-5 mbar-l/s(Purifier Unit And Components)

     

    气体过滤系統

    手套箱内微尘过滤系统:圆型HEPA FILTER(0.3μm)循环过滤手套箱內部微尘气体

     

    真空泵系统:

    排气量12m3/h,两段式油回转真空泵,真空度<3 x 10-3 mbar,真空泵停止运转后本身具有逆止功能(EDWARDS RV-12)

     

    Feedthroughs孔手套箱后侧Feedthroughs孔5个,KF- 40

    传递

    (1) 大传递箱:

    不锈钢SUS304,厚度2mm圆柱型传递箱直径=390mm, 长度=600mm

    內部拋光处理,外部粉体烤漆,经硬阳处理铝门盖,10mm厚,内部附置物滑台

    充油式真空表1个,真空阀:KF-25气动阀1个,压力平衡阀3/8”电磁阀1个

    大传递箱控制:内外门为手动操作,抽真空/压力平衡为PLC自动控制

    (2) 小传递箱:

    不锈钢SUS 304,厚度2mm,圆柱型传递箱,直徑=150mm,长度=300mm

     充油式真空表1个,3/8”抽真空/压力平衡为手动或PLC控制

    (3)传递箱泄漏率:<10-5 mbar-l/s

     

    水氧监测仪:

    (1)微量温度分析仪:0-1000PPM(V)

    (2)微氧分析仪:0-1000PPM(V)

     

    手套箱自PURGING系统:

    (1)手套箱PURGING(清洁)系统,可自由设定水氧浓度值,浓度监测全自动启动PURGING手套箱

    (2)手套箱破大气后,启动Purge系统可在60分钟内,自动快速Purge降至100ppm水氧浓度以下

    QQ客服:销售部:  服务部: 
     

    COPYRIGHT ©  PRECISION SYSTEMS INDUSTRIAL LIMITED .ALL RIGHT RESERVED. 苏ICP备2024069327号

    销售邮箱:sales@psaic.net  服务邮箱:service@psaic.net  销售服务热线:400-848-3369