器件参数测量软件-FastLab

半导体器件IV/CV特征测量工具软件

功能特点

界面友好，操作简单，功能全面。可以与MeQLab或其他分析工具进行数据输出，形成一个完整的建模平台。机器学习算法使其测量速度是同行产品的2-3倍。

主要应用

● 晶圆映射：界面简易友好，可以迅速制定wafer测量计划，并查看测量结果。包括：编辑subdie、设置subdie测量内容、选择die和device,制定

test plan、通过图标能清晰地分辨出各个die/ subdie的测量情况。

● 更多更全面的IV和CV测量例程；

● 支持Stress测量；

● 高度集成界面，更容易地完成Meter, Matrix, Probe的设置和管理，并通过Routine组织不同Device类型的测量内容，所有设置可一键导出导入；

● 丰富的Log信息，全面详细地显示测量中不同Device和不同page所花费的时间；

● 强大的看图、叠图以及输出Report功能，能够输出WAT友好的excel格式，方便对数据进行后继处理。

支持器件类型

 Mosfet、MosSOI、BJT、Diode、Capacitor、Resistor

支持仪器类型

 Meter: FS360/FS380/B1500/HP4284/HP4156/E4980

 Matrix: K707/E5250A/B2200

 Prober: Cascade Semi-Auto PA300/S300