一、高低温设计真空腔室配置：

类型： 焊接或一体化成型  

直径8英寸(200mm)真空腔体，100mm高红外透射率观察窗     

直径6英寸防辐射屏腔体，带100mm低红外光，高可见光透射防辐射窗和屏蔽帘

二、载台配置：      

直径为2英寸(50mm)的样品台，平整度5微米

三、探针臂配置：     

配置6个波纹管式探针臂接口，可安装6个探针操作装置或光纤臂

结构类型：真空波纹管  

X-Y-Z 方向的移动行程：25mm-25mm-25mm  

运行方式：手动/线性移动  

移动精度：2微米   

接口法兰：Triaxial (母口)高真空电信接口（内螺纹）

真空射频转接头  

光纤固定夹具及转接头

真空光纤适配器

气体耦合接口

其它接口可根据需求客制

四、接口配置：     

留有一个KF40真空抽气口，一个快速破真空进气口      

留有一个16pin电信接口法兰，一个电信备用接口法兰  

五、冷头说明：    

一级冷头用于辐射屏制冷

双级压缩制冷机和冷头

制冷功率及温度：1.5 W @ 4.3 K（根据应用需求可选10K或其它温度范围）

操作方式：按钮

冷头类型：CG310SC Cold Head

压缩机：U304CWA Compressor

氦气管线：10 m (33 ft.) Helium Gas Lines

冷头电缆线：10 m (33 ft.) Cold Head Cable

分体风冷循环水冷水机配置 

制冷功率：5200W

控温范围：5~35℃可调；控温精度：±1℃

水泵压力：0.15～0.5(Mpa) 可调

六、真空度：     

KF 法兰接口，系统极限真空优于 1.2*10^-5 Pa（配置250L/s分子泵时）      

真空漏率优于：1.3*10^-10Pa.M3/s

七、温控说明：     

常温降温至5K的时间优于：180mins      

温度稳定性优于：+/- 50 mK

高温温度范围可选：100度、200度、其它

八、探针：    

直流探针或高频探针：DC至67GHz

直流探针直径及材质可选，如：钨、铍铜、镀金等；直径：1微米、5微米、10微米、其它

高频探针频率范围根据需求可选或客制，如：10GHz、20GHz、40GHz、67GHz、其它

高频探针间距根据需求可选或客制，如：150微米、250微米、其它

高频探针类型根据需求可选或客制，如：GSG、GSSG、其它

探针漂移量：< +/- 60 nm in 30 mins

九、显微镜及视频成像装置

可选体式显微镜，视频显微镜，金相显微镜、其它

视频成像装置可选CCD相机、C-MOS成像、高速相机、其它

十、真空泵系统

分子泵机组（根据应用需求可选其它配置）：

进气口法兰 Flange(In)：DN100 CF

排气口法兰 Flange(Out)：ISO-KF DN25

抽气速率 Pumping Speed：N2-260 L/s；He-220 L/s；H2-180L/s；Ar-280 L/s

压缩比 Compression Ratio：N2-10^9；He：10^6； H2-10^5；Ar：10^9；

极限压强 Ultimated Pressure：CF-5*10^-7Pa；ISO-K：2.5*10^-6Pa；

最大连续前级压强 Max Continuous Fore-Vacuum Pressure：500

最大前级压强 Max Fore-Vacuum Pressure：N2-1500Pa

最大气载量 Gas Throughput：N2-50；He：50

额定转速 Rotation Speed：57000RPM

启动时间 Run-Up Time：≤4

冷却方式 Cooling Water Consumption：水冷或风冷

冷却水流量 Cooling Water Consumption：1 L/min

冷却水温度 Cooling Water Temperature：≤25

电源电压 Power Connection Voltage：DC24/AC220V

最大功率 Max Power Consumption:220W

适配电源型号 Controller Model：TD-300/TCP-24/TC-100

重量 Weight：8.5kg(ISO-K)；11（CF）

十一、隔震系统

平台尺寸：W1200xD900xH850mm

总高度：800mm

含重型阻尼支架，高度可上下调节 20mm

负载：＞400kg

固有频率：6~8Hz

台面材料：不锈钢SUS430

台面布M6螺孔阵距：25mm×25mm

台面平整度：≤0.05mm/m2，表面光洁度：2um

自重：＞200kg

隔震方式：气浮式平台，自带压缩空气泵

气压自检：带自动检测功能，气压到了设定值后，气泵自动停止工作

静音空气压缩机

重量：24kg

尺寸: 41mm*41mm*55mm

噪声：52dB