主体型号

PSAICSwin LCD

最大样品大小：

（800±0.5）毫米×（800±0.5）毫米。

可测试区域：800mm×800mm基板无死角

（可根据实际应用需求客制化）

平台与支架单元

抗振龙门支架支持

平坦度：±100微米

样品吸附方式

夹持或真空吸附

探针座配置

MH300/MH100/MH500

光学单元

三目体式显微镜

可选：高倍率金相显微镜、单筒视频显微等…s

真空卡盘平坦度

<10微米

探针杆配置

弹簧式/管式/高频/其它各类电学测试应用

线缆配置

同轴/三轴/高频/其它各类电学测试应用

接口配置

BNC或三同轴或其它

仰角调节装置

可选（配合管式探针杆使用）

探针

钨针(直径可选)/高频探针/其它

测试源表及网络分析仪配置

能配合各类矢量网络分析仪及各类测试源表进行测试

台体尺寸

≤宽1000深800高1000 （mm）（仅Prober）

重量

≤500kg（不包含测试仪重量）

屏蔽箱

可选

隔振台

可选