PSAICSwin DPS900型大行程多面点针探针台
PSAICSwin DPS900 Probe Station
概述：
本设备主要用于高频电学特性手动检测。
设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质，在操作过程中操作者的视线要好。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠；
系统包括主体结构外框、载台和支架、探针单元、光学单元、防震系统、测试仪。
应用：
主要应用在半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。价格适中，稳定性强，可升级扩展，操作方便；在各大高校、研究所及半导体行业应用较广；
技术参数：
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主体型号
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PSAICSwin DPS900
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最大样品大小：
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（915±0.5）毫米×（915±0.5）毫米。
可测试区域：915mm×915mm基板无死角
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平台与支架单元
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抗振龙门支架支持
平坦度：±100微米
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样品吸附方式
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夹持
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探针座配置
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探针座平台移动方式：手动
探针座数量：6个（可根据实际需求加配）
X, Y, Z轴行程：不小于12毫米
精度：≤3um
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探针配置
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探针形式：GSG, GSSG或其它直流测试
高频探针工作頻率：≥65GHz
直流测试漏电精度：fA级别
探针测试垫
最小接触测试垫宽度：80微米
最小测试垫之间的间距：50微米
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光学单元
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显微镜类型：单筒变倍型或长工作距离体式显微镜（1X~6.5X）
显微镜物镜放大倍率：5倍
(注：显微镜可根据实际需求选择其它配置)
显微镜移动方式：手动
显微镜XY方向移动范围：30x30毫米
显微镜载台也可借助滑轨快速移动，并调整显微镜焦距，调整范围为30*mm*30mm*30mm
相机类型：彩色相机
解析度： 130万像素
CCD最大放大倍数：不小于3X
监视器尺寸：不小于12英寸
监视器解析度：不低于1024×768
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测试源表及网络分析仪配置
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能配合各类矢量网络分析仪及各类测试源表进行测试
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台体尺寸
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≤宽2000深1800高2000 （mm）（仅Prober）
外形尺寸的长度+维护空间+安装区间≤3600毫米
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重量
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≤2吨（不包含测试仪重量）
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