PSAICSwin DPS型双面探针台
PSAICSwin DPS Probe Station
应用：
主要应用在半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMs，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
技术参数：
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主体型号
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PSAICSwin DPS系列
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显微镜配置
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双显微镜配置：
上端：高倍率金相显微镜
可选：三目体式显微镜、单筒视频显微等…
下端：L型单筒视频显微镜
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视频成像配置
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CCD/C-MOS相机
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真空卡盘尺寸
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4/6/8/12寸可选
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XY平台行程范围
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50mm*50mm 至300mm*300mm
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XY平台设计
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采用高精密丝杠式设计，精度<5微米，旋钮式设计，可加装电控装置
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显微镜支撑结构XY行程
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50mm*50mm 至300mm*300mm
主体上下双面点针及龙门架结构设计
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粗微调装置
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精度<5微米
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可放置样品尺寸范围
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5mm*5mm至100mm
5mm*5mm至150mm
5mm*5mm至200mm
5mm*5mm至300mm
根据样品不同，设计相应的夹具固定方式
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卡盘R轴旋转角度
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0-30度
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底座方式
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双层设计
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二层板结构
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U型
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探针座配置
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MH300/MH100/MH500
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探针杆配置
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弹簧式/管式/高频/其它各类电学测试应用
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线缆配置
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同轴/三轴/高频/其它各类电学测试应用
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接口配置
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BNC或三同轴或其它
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仰角调节装置
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可选（配合管式探针杆使用）
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探针
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钨针(直径可选)/高频探针/其它
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屏蔽箱
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可选
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隔振台
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可选
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