主体型号

PSAICSwin AMC系列

显微镜配置

三目体式显微镜

可选：高倍率金相显微镜、单筒视频显微等…

视频成像配置

CCD/C-MOS相机

真空卡盘尺寸

4/6/8/12寸可选

XY平台行程范围

50mm*50mm 至300mm*300mm

XY平台设计

采用高精密丝杠式设计，精度<5微米，旋钮式设计，可加装电控装置

显微镜支撑结构XY行程

50mm*50mm 至300mm*300mm

主体为全封闭式设计

粗微调装置

精度<5微米

加温卡盘

可选200度/300度/其它

Z轴升降范围

5mm

卡盘R轴旋转角度

0-30度

底座方式

双层设计

二层板结构

U型

可放置样品尺寸

5mm至300mm(12寸)

真空卡盘平坦度

<10微米

探针座配置

MH300/MH100/MH500

探针杆配置

弹簧式/管式/高频/其它各类电学测试应用

线缆配置

同轴/三轴/高频/其它各类电学测试应用

接口配置

BNC或三同轴或其它

仰角调节装置

可选（配合管式探针杆使用）

探针

钨针(直径可选)/高频探针/其它

屏蔽箱

可选

隔振台

可选

高低温液冷温控系统配置

温度控制范围：-60℃～+200℃ （温度连续可调）
温度控制精度：±0.5℃  （恒定状态时）
温度显示分辨率：0.1℃
最多可设置40个温度点，中间温度间隔最小1℃
流量参数：＞20L/min@25℃@2bar
压力参数：＞2.5bar
循环泵：耐高低温型磁力驱动泵
温度控制点：控制设备出口温度
温度监测点：设备出口温度、进口温度
噪音：离机器外壁500mm测量，设备噪音≤75dBA
设备输入电压：AC 380V±10%、50 Hz三相五线制
制冷量：
≥3KW@200℃液温、环境温度25℃
≥3KW@25℃液温、环境温度25℃
≥0.5KW@@-40℃液温、环境温度25℃
≥0.3KW@@-55℃液温、环境温度25℃
载冷剂：Dowtherm J导热油
制热功率：2KW（加热功率根据升温速率自动可调或手动可调）
设备配电功率：6KW （含最大加热功率2kw）
液箱参数：膨胀液箱容积20L ，循环液容积5L