PSAICSwin SPS4型探针台
PSAICSwin SPS4 Probe Station
应用：
主要应用在半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。价格适中，稳定性强，可升级扩展，操作方便；在各大高校、研究所及半导体行业应用较广；
技术参数：
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主体型号
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PSAICSwin SPS4
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显微镜配置
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三目体式显微镜
可选：高倍率金相显微镜、单筒视频显微等…
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视频成像配置
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CCD/C-MOS相机
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真空卡盘尺寸
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4寸
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XY平台行程范围
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100mm*100mm
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XY平台设计
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采用高精密丝杠式设计，精度<10微米，旋钮式设计
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显微镜支撑结构XY行程
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50mm*50mm
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粗微调装置
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精度<10微米
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加温卡盘
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可选200度/300度/其它
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Z轴升降范围
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5mm
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卡盘R轴旋转角度
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0-30度
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底座方式
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双层设计
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二层板结构
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U型
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可放置样品尺寸
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5mm至100mm(4寸)
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真空卡盘平坦度
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<10微米
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探针座配置
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MH300/MH100/MH500
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探针杆配置
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弹簧式/管式/高频/其它各类电学测试应用
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线缆配置
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同轴/三轴/高频/其它各类电学测试应用
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接口配置
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BNC或三同轴或其它
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仰角调节装置
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可选（配合管式探针杆使用）
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探针
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钨针(直径可选)/高频探针/其它
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屏蔽箱
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可选
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隔振台
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可选
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台体尺寸
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580mm*460mm*245mm
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重量
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40kg
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