PSAICSwin VFP-4PP真空客制四点探针测试系统
PSAICSwin VFP-4PP Vacuum Custom Four Point Probe System
概述：
VFP-4PP真空客制四点探针测试系统可进行8寸晶圆的四探针测试，探针间距可调，样品载台可移动，可客制化完成设计，主体高真空抽气口位于腔体后方，整体设计符合ISO规范，系统合理适用，是目前为止针对于较大晶圆测试的最佳选择；
应用：
可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，特别是较大晶圆在高真空环境下的测试；在半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域的应用较为广泛。
技术参数：
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组件信息
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技术指标
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设备型号
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PSAICSwin VFP-4PP
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真空环境
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10-8 torr或以下
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样品放置窗口位置
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位于真空室正前方
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真空抽气口位置
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位于真空室后方，真空系统符合ISO设计规范
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观察窗口
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设计观察视窗，可实时观测8寸或以下晶圆的测试传送过程
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真空腔材质
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不锈钢材质
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预留接口
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两个气体接口
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样品载台尺寸
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8寸
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载台材质
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石英样品载台，以避免漏电流产生
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抽气系统
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涡轮分子泵，最高真空度可达10-8Torr
机械泵，最高真空度可达10-4Torr
自动抽气控制系统配置气动阀门与气动解压阀
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抽气时间
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30分钟内达到10-6Torr
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真空计量程
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Atm~10-9 mbar/Torr
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真空控制器
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TIC 控制器
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探针可调范围
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30微米~100微米
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探针与被测物夹角
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30度(+/-5)
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下针方式
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手动微调下针，以避免探针接触样品造成瞬间损坏
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显微系统配置
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在下针及量测试过程中，以显微系统辅助，避免破坏待测样品并不留探针痕迹
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视频系统装置
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配置CCD/C-MOS成像系统
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测量组件
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支持双组态四探针量测法(dual configuration method)。
具备自动及手动选择功能
可同时测量电阻值、片电阻(sheet resistance)及电阻率(Resitivity)。
可同时支持GPIB及RS232通讯接口
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操作控制
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抽气控制系统、电学测量数据分析采用人机触控界面及Windows计算机软件系统，测试参数及结果可储存打印，具备操作者权限设定功能，可进行相应设置，操作及警示功能；主机配置紧急停止 (Emergency Stop)装置，并配置在机台明显位置；
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其它
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*系统可根据实际应用需求客制化
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