PSAICSwin CRYOX系列真空高低温型探针台
PSAICSwin CRYOX Series Vacuum High And Low Temperature Probe Station
概述：
CRYOX系列真空探针台可实现高真空环境下的高温及低温电学性能测量，真空腔一体成型，具有设计合理，真空度稳定，温控精度及机械精度高等特点；根据测试温度范围不同，可单选高温或低温等相应组件，最高温度可达到700℃，低温部分采用液氮冷却组件，最低温度可达77K，温控精度可达到+/-0.1℃；真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可达到10-3Torr或10-6Torr；整套系统可根据用户的不同测试需求客制化；
应用：
可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
产品特点：
l 低温环境下的测试，当被测样品在低温大气环境下空气中的水汽会凝结在样品上，这样会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败，为避免此类现象，在测试前利用机械泵或分子泵系统工作原理使用腔体内部达到一定真空度，这样在测试过程中可保证样品不受水汽环境的影响，以达到最佳测试效果；
l 高温环境下的测试，当被测样品加热200℃至700℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重，过度氧化会导致样品的电性误差，物理和机械形变，为避免此类现象，同样需要在测试前利用机械泵或分子泵系统的工作原理使腔体内部达到一定真空度，这样在测试过程中可保证样品不受高温氧化的影响并达到最佳测试效果；
技术参数：
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组件信息
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技术指标
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设备型号
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PSAICSwin CRYOX系列
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显微镜配置
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视频显微镜
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视频成像配置
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CCD/C-MOS成像系统
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样品载台尺寸
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2”（可选4”或6”）
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真空室真空度
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10-3Torr (10-6Torr或更高可选)
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主体隔震频率
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主体设计采用空压机进行空气压缩隔震（频率范围3~5Hz）
与真空探针台主体一体化设计，可有效减少外界震动所带来的影响
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容纳样品尺寸
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5mm-150mm
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探针座配置
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MH600/MH800型(数量可选)
MH600型：
底座尺寸： 80 x 80mm
XY轴行程范围： ±20 mm
Z轴行程范围： ±20 mm
分辨率： <3um
MH800型：
底座尺寸： 100 x 100mm
XY轴行程范围： ±30 mm
Z轴行程范围： ±30 mm
分辨率： <3um
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探针配置
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2至6组
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温度范围
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l 高温最高可达700℃
l 低温最低可达77K
可根据不同测试需求选择温度范围及相应温控组件
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温控精度
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+/-0.1℃
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观察窗尺寸
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75mm或可客制化
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量测范围
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量测范围DC直流至高频67 GHz
（可根据测试需求配置不同测试线缆）
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探针杆配置
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弹簧式/管式/高频/其它各类电学测试应用
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线缆配置
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同轴/三同轴/高频/其它各类电学测试应用
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接口配置
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BNC/三同轴/高频线缆/其它
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仰角调节装置
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可选（配合管式探针杆使用）
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探针
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钨针(直径可选)/高频探针/其它任何类型
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高频校正模块
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CSUB高频校正模块(可选)
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可预留端口
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根据实际应用需求客制化
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真空系统
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机械泵或分子泵系统可选
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空压机
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空气压缩机
无油泵/自动开关/马达 1/6 HP/空气流量28LPM /空气存储2.5 L/电压220V
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测试源表
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磁场探针台主体测试线缆的接驳组件集成设计连接各类测试源表，并可进行相应的软件二次开发，加大系统整合性及测试稳定性；
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其它
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*系统可根据实际应用需求客制化
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