PSAICSwin HF-CRYOX系列真空磁场探针台
PSAICSwin HF-CRYOX Series Vacuum Magnet Probe Station
概述:
HF-CRYOX系列真空磁场探针台可实现高真空磁场环境下的高温及低温电学性能测量,真空腔一体成型,具有设计合理,真空度稳定,温控精度及机械精度高等特点;水平方向磁场强度0.5Tesla,磁场间距28mm,最大磁场强度1Tesla时,磁场间距10mm;根据测试温度范围不同,可单选高温或低温等相应组件,高温部分温度范围室温至200℃,低温部分采用液氮冷却组件,最低温度77K,温控精度+/-0.1℃;真空系统可选机械泵或分子泵系统,真空度可达到10-3Torr或10-6Torr;整套系统可根据用户的不同测试需求客制化;
应用:
可应用于低温或高温真空磁场环境下被测样品的电学性能测试分析,如:半导体/微电子,电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMS,生物芯片,航空航天等科学研究领域,以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
技术参数:
组件信息
|
技术指标
|
设备型号
|
PSAICSwin HF-CRYOX系列
|
磁场主体配置
|
水平方向磁场强度0.5Tesla,磁场间距28mm
水平方向最大可调磁场强度:1Tesla (磁场间距10mm)
电磁铁装置(单磁场)
50mH电感线圈1750W
冷却装置机组
电源控制器(单磁场控制)
双极调节
输入参数:190~240VAC,1Φ2W,50/60赫兹
输出参数: 0-30VDC / 0-80A
最大功率:2.4KW
通迅接口:GPIB
Labview驱动
|
显微镜配置
|
视频显微镜
|
视频成像配置
|
CCD/C-MOS成像系统
|
样品载台尺寸
|
根据磁场强度相对应磁场间距设计
|
真空室真空度
|
10-3Torr (10-6Torr或更高可选)
|
主体隔震频率
|
主体设计采用空压机进行空气压缩隔震(频率范围3~5Hz)
与真空磁场探针台主体一体化设计,可有效减少外界震动所带来的影响
|
容纳样品尺寸
|
5mm-20mm
|
探针座配置
|
MH600/MH800型(数量可选)
MH600型:
底座尺寸: 80 x 80mm
XY轴行程范围: ±20 mm
Z轴行程范围: ±20 mm
分辨率: <3um
MH800型:
底座尺寸: 100 x 100mm
XY轴行程范围: ±30 mm
Z轴行程范围: ±30 mm
分辨率: <3um
|
探针配置
|
2至6组
|
温度组件配置
|
l 室温至200℃
l 室温至77K
l 77K至200℃
可根据不同测试需求选择相应温控组件
|
温控精度
|
+/-0.1℃
|
观察窗尺寸
|
75mm或可客制化
|
测试范围
|
量测范围DC直流至高频67 GHz
(可根据测试需求配置不同测试线缆)
|
探针杆配置
|
弹簧式/管式/高频/其它各类电学测试应用
|
线缆配置
|
同轴/三同轴/高频/其它各类电学测试应用
|
接口配置
|
BNC/三同轴/高频线缆/其它
|
仰角调节装置
|
可选(配合管式探针杆使用)
|
探针
|
钨针(直径可选)/高频探针/其它任何类型
|
可预留端口
|
根据实际应用需求客制化
|
真空系统
|
机械泵或分子泵系统可选
|
空压机
|
空气压缩机
无油泵/自动开关/马达 1/6 HP/空气流量28LPM /空气存储2.5 L/电压220V
|
测试板卡
|
GPIB USB接口测试板卡
|
测试源表
|
磁场探针台主体测试线缆的接驳组件集成设计连接各类测试源表,并可进行相应的软件二次开发,加大系统整合性及测试稳定性;
|
其它
|
*系统可根据实际应用需求客制化
|