产品型号:HW-100
特点:
具有速度精度高、转速稳定、主动式速度调控、匀胶过程多段程序控制等特点。
主要用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺,例如:各类纳米薄膜材料、光阻涂覆、生物功能涂层的制备。
产品概述:
主要用于液体,胶体在材料表面薄膜的形成。
适用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工艺。
可在科研,教育,生产中应用。
产品特点:
高精度多程序控制器。
加速度及负加速度可自主控制。
液晶显示屏可以实时显示运行速度。
真空吸片系统更安全,安装有机械装卡夹具,保障电机启动、运行时可靠吸片不飞片。
转速精度更高:300 - 8000 转/分,转速稳定性:+ - 0.1 %,最高转速10000转/分
不锈钢机壳,外表面洁净光亮,聚四氟材质,工作腔美观、方便清洗
温度控制系统: 工作腔内板式加热体,加热均匀,控制温度范围:室温--摄氏温度200度。
技术参数:
单相交流电源:220V.50Hz
电机功率:150W
旋转真空吸盘直径:4英寸(102mm,标准配置)
可选择配置: 基片直径10~200mm。
电机速度:转数300 - 8000 转/分。
控制温度:室温-摄氏温度200度。
结构尺寸: 260mm宽 x 350mm深 x 260 mm高
可选配件: 60升/分有油真空泵或70升/分无油真空泵