规格： 可选样品卡盘尺寸：4寸、6寸、8寸、12寸 外形：圆形或方型 可选温度范围：室温~100°C/200°C/300°C/400°C/500°C/600°C 温控精度：+/-0.5~1°C 温控分辨率：+/-0.1°C 变温精度：+/-0.1°C 卡盘平整度：+/-5um 样品固定方式：真空吸附 材质：不锈钢/铜或其它涂镀材料，如镀金、镀镍等 电源：AC/DC 温控仪：日本富士 测温探头：欧姆龙
