应用范围：
EMMI可广泛应用于侦测各种组件缺陷所产生的漏电流，包括闸极氧化层缺陷(Gate oxide defects)、静电放电破坏(ESD Failure)、闩锁效应(Latch Up)、漏电(Leakage)、接面漏电(Junction Leakage) 、顺向偏压(Forward Bias)及在饱和区域操作的晶体管，可藉由EMMI定位，找热点(Hot Spot 或找亮点)位置，进而得知缺陷原因，帮助后续进一步的失效分析。

产品特点：

♦ EMMI 是用来做故障点定位、寻找亮点、热点(Hot Spot)的工具。
♦ 其具备高灵敏度的制冷式电荷(光)耦合组件(C-CCD)侦测器，可侦测组件中电子－电洞再结合时所发射出来的光子，光波长：400 nm ~ 1000 nm或900nm-1700nm（可选），350nm-1100范围相当于可见光和红外光区。
♦ 其它波长范围的选项可根据具体需求配置，如：紫外，可见及红外微光，近红外等...
♦ 支持3000V高压偏置。
♦ 相机与源表一体化程序控制，图像处理功能。
 

系统功能：
♦ 3KV高压电学特性测试
♦ 反向漏电失效定位
♦ 高温或恒温载台：室温至300度（多选项）或可选其它温度范围
♦ 多功率显微光路设计：
                                     电致发光测试（接光谱仪）
                                     光致发光测试（接激光器）
                                     红外和紫外波段增强

配置说明：

一、探针测试台主体配置：

结构：精密高刚性直线导轨，滚珠丝杠
操作方式：手轮
样品载台（常温）：6英寸晶圆不锈钢真空吸盘，带有4层内槽，中心吸附孔<5mm，卡盘面积6"（直径150mm），卡盘平整度≦5um，带有15mm旋转把手，可进行R轴旋转
（根据实际测试需求可选高温或恒温载台（室温~300度或其它温度要求），载台材质可选不锈钢，镀金，陶瓷或其它，以下述配置组件为准
探针座固定板：升、降行程 30mm，接触/分离 0.66mm
样品台移动：卡盘XY行程最小移动距离≦５um
载台移动：除可进行XYZ粗精调节外，可动手做抽拉式移动装载样品，将载片台拉抻至台体外，并带有固定开关功能，方便进行样品装片等操作
样品台行程：150mm*150mm，调节精度5微米
XY平台可调范围：6”x6”(153.2mmx153.2mm)
Z轴行程：10mm，调节精度5微米，设计微分式调节，接触/分离 行程0-1mm(有热台结构不分档)
R轴行程：精调，精度10微米，带有微调置，可手动旋转，并带有锁死开关，微调范围 ±5 º，粗调范围 360°可旋转
台体尺寸：660mm长x610mm宽x250mm高
显微镜龙门架构设计：XY行程50*50mm （气动升降组件功能可升级）
样品固定：独立真空开关，前向开启及关闭，控制样品吸附固定
底板处理：做加固处理，使用黑色拉丝涂镀处理，最大限度的进行静电屏蔽

注：其它尺寸测试机台可选：8寸或12寸或非标

二、屏蔽箱：
尺寸：宽：800mm，高：900mm，深：900mm
（其它尺寸可定制）
对开门或上掀开门方式
预留三同轴孔位（前门右下外侧）
接口：Triaxial 三同轴母转 Triaxial 三同轴母
一个长方形出线孔（后门右下外侧）
内衬铜网，门带金属密封

三、隔震台：
平台尺寸：1200mm×700mm（其它尺寸可定制）
总高度：800mm 左右
含重型阻尼支架，高度可上下调节 20mm
负载：＞400kg
固有频率：6~8Hz
台 面 材 料 ： 不 锈 钢 SUS430 ， 台 面 布 M6 螺 孔 阵 距
25mm×25mm
台面平整度：≤0.05mm/m2，表面光洁度 2um
自重：＞200kg
隔震方式：气浮式平台，自带压缩空气泵
气压自检：带自动检测功能，气压到了设定值后，气泵自动停止工作

四、长焦金相显微镜：

目镜：WF10X/24，视场直径 24mm，独立矫正色差
双目头：瞳距调节范围55~75mm
上主体：分光比为50:50或0:100
管镜：1X NUV/VIS; 1X NIR/VIS; 2X VIS
转换器：4孔，中心可调
物镜：
           长工作距离或超长工作距离;
           无限远平场复消色差;
           齐焦距离: 95mm;
           连接螺纹: M26X1/36"(0.706);
           齐焦机构(可选)
调焦机构 ：调焦行程: 52mm; 粗动手轮4mm/转;微动手轮0.1mm/转; 微动手轮 1μm/格;
最大承载重量: 45磅(20.4Kg)
照明系统：同轴垂直照明，可变孔径光栏( 0.8~ 6) 冷光源 输入电压: 110V或220V; 150W/21V; 卤素灯遥控器(可选)
移动载物台：XY行程: 75X50mm
人机工程头部：转动范围3 -30
 

900nm-1700nm⼤视野⻓焦距近红外矫正物镜：

通过与M Plan Apo NIR系列等支持红外区的物镜组合，可在红外线下买现可见光下做不到的非破坏性检查。
• 大液晶薄膜、硅基板等的厚度测量
• MEMS内部的非破坏评价、三维安装评价
• 大半号体封装(1C)的内部观察、晶圆键合空
洞评价传感器
• 大红外分光特性分析
• 明场观察及激光加⼯
• 平场复消⾊差规格
• 对可⻅光到近红外区进⾏了矫正设计
• ⾼分辨规格，分辨率提⾼了50%以上

五、探针操作装置：
高精度的探针座以及精细的加工，保证了精准度与直线度，配仰角调节机构及磁性反转底座（可选其它吸附方式）
X-Y-Z行程：12mmx12mmx12mm
线性移动
移动分辨率：<1um
底座尺寸：65mm x 65mm x 20mm(WxDxH)

六、THT直流测试用线缆
漏电精度：100fA
电压范围：0~1500V
电流范围：100fA~1A
双屏蔽三轴线缆，带三轴公接头，1.5m
低漏电流管式三轴探针夹持装置及多层屏蔽线缆

七、探针：
直流测试探针（规格：5支/盒）
直径：1um 2um 5um 10um 20um 50um及其它
材质：钨、铍铜、镀金及其它材质
类型：直针、弯针、猫须针

八、加热台及恒温台
加热台：

材质：可选不锈钢、铜、镀金、陶瓷
温度范围要求：室温至200°C 300°C 300°C 400°C 其它
温控精度：+/-0.1 度
温控稳定性：+/-0.1 度
样品固定卡盘直径尺寸：100mm 150mm 200mm 其它非标尺寸
外形：圆形 方型 其它非标形状
样品固定方式：真空吸附或其它
日本富士温控仪、欧姆龙测温探头

恒温台：
温度范围：-20~150°C / -10~100°C / 10~70°C / 15~80°C / 其它
温控精度：+/-0.5度
温控稳定性：+/-0.3度
样品卡盘尺寸：100mm 150mm 200mm 其它非标尺寸
散热方式：风冷/水冷
样品固定方式：真空吸附或其它
日本富士温控仪、欧姆龙测温探头

九、真空泵：
可24小时运转，为载物台提供真空吸附力
空气流量：7L/min，静音无油
真空度：-250mm/Hg
尺寸：98mm*58mm*80mm
重量 0.7kg
电源要求：220V/50Hz

十、高灵敏度相机(900nm~1100nm)：
简述：82 %的峰值量子效率，适合任何需要简单连接、中等快速帧率和高灵敏度的实验。
特点：宽视场、低光灵敏度和大动态范围
 

深度制冷InGaAs 相机(900nm~1700nm)：

十一、测试实例：

注：了解更多产品信息或样品测试服务，请致电（全国统一服务热线：400-848-3369）、邮件：sales@psaic.net或留言给我们