Foot dimension(底座尺寸)：65mm x 65mm
Travel range X,Y（XY行程）：+/-13mm
Travel range Z （Z轴行程）：+/-13mm
Feature Resolution（移动分辨率）：<0.7um
Vacuum Base Or Switchable Magnet Base(可切换真空或磁吸附基底可选)
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