PSAICSwin GPS300型探针台
PSAICSwin GPS300 Probe Station
应用：
主要应用在半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。价格适中，稳定性强，可升级扩展，操作方便；在各大高校、研究所及半导体行业应用较广；
技术参数：
|
主体型号
|
PSAICSwin GPS300
|
|
显微镜配置
|
高倍率金相显微镜
可选：三目体式显微镜、单筒视频显微等…
|
|
视频成像配置
|
CCD/C-MOS相机
|
|
真空卡盘尺寸
|
12寸
|
|
XY平台行程范围
|
300mm*300mm
|
|
XY平台设计
|
采用高精密丝杠式设计，精度<5微米，旋钮式设计，可加装电控装置
|
|
显微镜支撑结构XY行程
|
150mm*150mm 主体为龙门架结构设计
|
|
粗微调装置
|
精度<5微米
|
|
加温卡盘
|
可选200度/300度/其它
|
|
Z轴升降范围
|
5mm
|
|
卡盘R轴旋转角度
|
0-30度
|
|
底座方式
|
双层设计
|
|
二层板结构
|
U型
|
|
可放置样品尺寸
|
5mm至300mm(12寸)
|
|
真空卡盘平坦度
|
<10微米
|
|
探针座配置
|
MH300/MH100/MH500
|
|
探针杆配置
|
弹簧式/管式/高频/其它各类电学测试应用
|
|
线缆配置
|
同轴/三轴/高频/其它各类电学测试应用
|
|
接口配置
|
BNC或三同轴或其它
|
|
仰角调节装置
|
可选（配合管式探针杆使用）
|
|
探针
|
钨针(直径可选)/高频探针/其它
|
|
屏蔽箱
|
可选
|
|
隔振台
|
可选
|
|
台体尺寸
|
700mm*600mm*800mm
|
|
重量
|
110kg
|
.jpg)
